電子工業(yè)廢氣治理

電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分，自上而下分為電子整機(jī)產(chǎn)品、電子基礎(chǔ)產(chǎn)品和電子專用材料三個(gè)層次。其中涵蓋：電子專用材料、半導(dǎo)體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。
一、電子工業(yè)中VOC排放特征
1.1電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節(jié)及污染物類型
VOCs排放涉及涂裝行業(yè)、農(nóng)藥醫(yī)藥、石油化工行業(yè)、涂料油墨染料生產(chǎn)、家具制造業(yè)、印刷業(yè)、干洗業(yè)、電子工業(yè)、合成革與人造革等行業(yè)。典型電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節(jié)及主要污染物。

電子工業(yè)中的VOCs種類常見的有30多種，主要來自半導(dǎo)體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機(jī)機(jī)殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機(jī)脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機(jī)溶劑，去光刻膠類化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點(diǎn)的硫類和胺類之有機(jī)溶劑。
在日本電機(jī)、電子行業(yè)VOCs排放量排名位居前二十名的物質(zhì)群依次是異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿。
1.2電子工業(yè)廢氣VOCs排放主要特點(diǎn)
電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類多，組分復(fù)雜。
一般來說，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)。
排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
二、VOCs污染防控對策建議
2.1加強(qiáng)源頭控制
加強(qiáng)研究，建立原材料選材及認(rèn)可數(shù)據(jù)庫，選用高性能、環(huán)保型原材料，尋找替代品，控制配方等多方面減少VOCs使用量，鼓勵(lì)VOCs排放企業(yè)積極使用環(huán)保型材料，推進(jìn)落后傳統(tǒng)工藝的升級換代，使用低揮發(fā)原材料，改善生產(chǎn)操作條件以減少無組織逸散，采用新工藝以減少有機(jī)溶劑用量，從源頭控制VOCs排放。
如電路板采用免清洗工藝，推廣使用免清洗助焊劑等。電子終端產(chǎn)品表面涂裝噴漆生產(chǎn)作業(yè)由傳統(tǒng)的空氣噴漆工藝為靜電噴漆工藝取代，以二甲苯等揮發(fā)性有機(jī)物為主溶劑的油漆涂料將遂漸淘汰，使用不含有機(jī)溶劑或低含量有機(jī)溶劑涂料。
表面涂裝推行粉末涂裝工藝，替代油漆涂裝工藝，粉末涂裝工藝的應(yīng)用得到迅速發(fā)展。
2.2推行清潔生產(chǎn)機(jī)制
根據(jù)《清潔生產(chǎn)審核暫行辦法》的要求，進(jìn)一步推動工業(yè)企業(yè)在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲存、產(chǎn)品等全過程的VOCs的監(jiān)管，從原材料、生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品環(huán)節(jié)，推薦和鼓勵(lì)采用無毒低毒的替代性原材料，推行利用率高、可循環(huán)回收的生產(chǎn)工藝，改進(jìn)結(jié)構(gòu)和成分設(shè)計(jì)減輕產(chǎn)品使用中的VOCs排放，逐步完善VOCs控制方面的清潔生產(chǎn)指標(biāo)體系.
國內(nèi)目前沒有相應(yīng)清潔生產(chǎn)指標(biāo)體系的行業(yè)或技術(shù)，可根據(jù)實(shí)際情況研究制定清潔生產(chǎn)方案。
2.3強(qiáng)化VOCs的末端治理
對電子工業(yè)VOCs廢氣加裝末端廢氣治理設(shè)施，減少排放到大氣中的VOCs。
現(xiàn)在有的VOCs控制技術(shù)可以簡單分為兩大類：
一類稱為破壞性方法，包括氧化法和生物法，氧化法又可分為直接燃燒法和催化焚燒法;
另一類稱為回收性方法，常用的回收方法有吸收法、吸附法、濃縮法和膜分離法;正在研究開發(fā)的方法還有等離子凈化技術(shù)和光催化氧化技術(shù)。各治理技術(shù)對比。

針對電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用相應(yīng)末端治理技術(shù)，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達(dá)到90%以上。
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個(gè)裝滿吸附劑的旋轉(zhuǎn)輪，廢氣由旋轉(zhuǎn)輪的上游側(cè)進(jìn)入濃縮輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，再經(jīng)脫附燃燒處理，去除效率可在98%。 對于半導(dǎo)體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè)，有機(jī)廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體，治理技術(shù)一般采用組合方式，前端通過噴淋塔淋洗，后接沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法，對電子終端產(chǎn)品企業(yè)，多采用活性炭吸附，進(jìn)行“三防”噴涂需增加除漆霧裝置(水簾或高密度纖維過濾)。
2.4建議實(shí)施VOCs總量控制
無組織排放變?yōu)榧杏薪M織排放，并加以收集治理。同建議將“VOCs”納入總量控制指標(biāo)，并制定減排時(shí)，加強(qiáng)環(huán)境審批與監(jiān)管，提高企業(yè)違法成本，對重點(diǎn)核算細(xì)則，組織編制并監(jiān)督實(shí)施污染物排放總量控制規(guī)企業(yè)進(jìn)行監(jiān)督性監(jiān)測，建立達(dá)標(biāo)排放責(zé)任制，確保企業(yè)劃和年度削減計(jì)劃，注重重點(diǎn)減排項(xiàng)目建設(shè)、運(yùn)行監(jiān)督污染物達(dá)標(biāo)排放。
管理，落實(shí)相關(guān)政策措施。逐步完善VOCs控制標(biāo)準(zhǔn)體系，為VOCs總量核算、總量控制提供基礎(chǔ)。
2.5加強(qiáng)科學(xué)管理
電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)環(huán)境管理，對逸散性無組織排放監(jiān)控，包括設(shè)備與管線組件泄漏、揮發(fā)性有機(jī)物液體，儲運(yùn)及廢水收集、處理和儲存設(shè)施的逸散等，盡可能把無組織排放變?yōu)榧杏薪M織排放，并加以收集治理。
同時(shí)，加強(qiáng)環(huán)境審批與監(jiān)管，提高企業(yè)違法成本，對重點(diǎn)企業(yè)進(jìn)行監(jiān)督性監(jiān)測，家里達(dá)標(biāo)排放責(zé)任制，確保企業(yè)污染物達(dá)標(biāo)排放。